| 소재 | SS 304 |
|---|---|
| 디자인 임시 | 1000c |
| 가스 흐름 제어정밀도 | 1%SP |
| 유동적 플로 세트 정확성 | 1.5%FS |
| 압력 제어기 정확성 | 0.02MPa |
| 소재 | SS 304 |
|---|---|
| 디자인 임시 | 1000c |
| 가스 흐름 제어정밀도 | 1%SP |
| 유동적 플로 세트 정확성 | 1.5%FS |
| 압력 제어기 정확성 | 0.02MPa |
| 소재 | SS 304 |
|---|---|
| 디자인 임시 | 1000c |
| 가스 흐름 제어정밀도 | 1%SP |
| 유동적 플로 세트 정확성 | 1.5%FS |
| 압력 제어기 정확성 | 0.02MPa |
| 소재 | SS304 |
|---|---|
| 캐리어 가스 | 그, Ar, N2, H2 |
| 캐리어 가스 순도 | >99.995% |
| 검출기 | 극소 TCD 검출기 |
| 제어 방법 | 소프트웨어 자동 제어화 |
| 소재 | SS 304 |
|---|---|
| 디자인 임시 | 1000c |
| 가스 흐름 제어정밀도 | 1%SP |
| 유동적 플로 세트 정확성 | 1.5%FS |
| 압력 제어기 정확성 | 0.02MPa |
| 소재 | SS 304 |
|---|---|
| 디자인 임시 | 1000c |
| 가스 흐름 제어정밀도 | 1%SP |
| 유동적 플로 세트 정확성 | 1.5%FS |
| 압력 제어기 정확성 | 0.02MPa |
| 소재 | SS 304 |
|---|---|
| 디자인 임시 | 1000c |
| 가스 흐름 제어정밀도 | 1%SP |
| 유동적 플로 세트 정확성 | 1.5%FS |
| 압력 제어기 정확성 | 0.02MPa |
